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J-GLOBAL ID：200903027635058944

光分析用測定器

Inventor： 鈴木 和雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993343046
Publication number (International publication number)：1995167775
Application date： Dec. 15, 1993
Publication date： Jul. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 試料のμm単位以下の微少領域における表面の状態(凹凸形状等)や光学的特性(吸収や透過等)を観察できる光学的分析手段を提供すること。【構成】 光源手段と、光源手段からの検査光束を試料で全反射する様に導く照射光学系と、試料の前記照射面とは反対側においてエバネッセント光を探査するプローブを有する探査系と、プローブにより検出されたエバネッセント光を光電変換して検出信号として取り出す検出系と、前記検出信号を演算処理することにより試料の光学的分析を行う分析手段とを備えた光分析用測定器。

Claim (excerpt)：

光源手段と、光源手段からの検査光束を試料で全反射する様に導く照射光学系と、試料の前記照射面とは反対側においてエバネッセント光を探査するプローブを有する探査系と、プローブにより検出されたエバネッセント光を光電変換して検出信号として取り出す検出系と、前記検出信号を演算処理することにより試料の光学的分析を行う分析手段と、を備えた光分析用測定器。

IPC (4)：

G01N 21/27 ,  G01B 11/30 ,  G01N 37/00 ,  G02B 21/00