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J-GLOBAL ID：200903027645370172

電子線描画方法及び装置

Inventor： 水野 一亥
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 春日 讓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995036437
Publication number (International publication number)：1996236420
Application date： Feb. 24, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ステージの間欠移動や描画動作の待機状態を伴うことなく、描画精度が向上可能な電子線描画方法及び装置を実現する。【構成】 最大幅Wを設定しステップ101でチップ配列を指定しステップ102で列分割数を1にしてステップ103で列幅W/Nを計算する。ステップ104でチップ配列の分割処理を行いステップ105で列単位で描画データを並び替える(ステップ100〜105)。ステップ106でシミュレーションでの列単位の描画時間を、ステップ107で描画速度を算出しステップ108でステージ移動速度が最低移動速度より大かを判定しステップ109で移動速度変化が最大移動速度変化より小かを判定し両条件の一方を満たさなければステップ110で列分割数をN+1に変更しステップ103に戻る。両条件を満たせばステップ111で次の算出用チップ配列があるか否か判定し、あればステップ112で次の算出用チップ配列の指定を行いステップ102に進む。

Claim (excerpt)：

電子線描画制御手段により電子線発生源からの電子線を偏向制御して試料に照射するとともに、試料を配置する試料台の連続移動を制御して、描画データに基づいた図形を電子線により上記試料に描画する電子線描画方法において、描画データを、描画時における試料台の移動方向にほぼ直行する方向の、所定の電子線描画幅を有する複数の列に分割し、上記所定の電子線描画幅に分割した各列毎に、描画データに基づいて、試料台の移動速度を算出し、算出した試料台の移動速度が所定の最低速度を超えるか否か、及び試料台の移動速度変化が所定の最大移動速度変化未満か否かを判定し、上記移動速度が、上記所定の最低速度以下であるか、上記移動速度変化が上記所定の最大移動速度変化以上である場合には、上記移動速度が所定の最低移動速度を超え、かつ、上記移動速度変化が所定の最大移動速度変化未満である条件を満足するまで、上記電子線描画幅を変更して、上記試料台の移動速度を算出して、電子線描画幅を決定することを特徴とする電子線描画方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  H04N 5/225

FI (4)：

H01L 21/30 541 A ,  G03F 7/20 504 ,  H04N 5/225 C ,  H01L 21/30 541 G