Pat

J-GLOBAL ID：200903027648087218

193NMリソグラフィーのためのヒドロキシ-エポキシド熱硬化下塗り

Inventor： パトリック・フォスター ,  シドニー・ジョージ・スレイター ,  トマス・スタインハウスラー ,  アンドルー・ジェイ・ブレイクニー ,  ジョン・ジョウゼフ・ビアフォー
Applicant, Patent owner： アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 高木 千嘉 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000604080
Publication number (International publication number)：2002539282
Application date： Mar. 10, 2000
Publication date： Nov. 19, 2002
Summary：

【要約】本発明はヒドロキシル含有ポリマー及び架橋剤として多官能エポキシドからなる熱硬化性ポリマー組成物に関する。この熱硬化性ポリマー組成物は溶媒に溶解しそして深紫外光リソグラフィーにおける下塗り層として使用することができる。更に、本発明は基板、基板上の熱硬化下塗り組成物、及び熱硬化下塗り組成物の上の放射線感受性レジスト上塗りからなる光リソグラフィー被覆基板にも関する。その上、本発明はレリーフ構造物の製造のため光リソグラフィー被覆基板を使用する方法にも関する。

Claim (excerpt)：

ヒドロキシル含有ポリマー、多官能エポキシド架橋剤及び場合により熱酸発生剤からなる熱硬化性ポリマー組成物。ここで前記ヒドロキシル含有ポリマーはシクロヘキサノール、ヒドロキシスチレン、ヒドロキシアルキルアクリレート又はメタクリレート、ヒドロキシシクロアルキルアクリレート又はメタクリレート、ヒドロキシアリールアクリルアミド又はメタクリルアミド、及びアリルアルコールからなる群より選ばれる少なくとも1つのモノマー単位からなり、但しフェノール性モノマーが前記ヒドロキシル含有ポリマーの少なくとも約10モル%の量で存在しない場合、前記熱酸発生剤は存在することを条件とする。

IPC (7)：

C08G 59/62 ,  C08G 59/68 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/11 503 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/027

FI (8)：

C08G 59/62 ,  C08G 59/68 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/11 503 ,  G03F 7/40 521 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 573

F-Term (33)：

2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025DA29 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA18 ,  2H025FA41 ,  2H096AA25 ,  2H096BA11 ,  2H096BA20 ,  2H096CA05 ,  2H096CA06 ,  2H096EA03 ,  2H096FA01 ,  2H096GA08 ,  2H096HA23 ,  2H096KA03 ,  2H096KA19 ,  4J036AE02 ,  4J036AE07 ,  4J036AJ00 ,  4J036AJ01 ,  4J036DB02 ,  4J036DD05 ,  4J036FB03 ,  4J036FB16 ,  4J036GA22 ,  4J036JA09 ,  5F046NA01 ,  5F046NA15