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J-GLOBAL ID：200903027745709339

ネガ型感光性樹脂組成物及びレジスト像の製造法

Inventor： 粕谷 圭 ,  佐々木 守 ,  加藤 幸治 ,  中野 一 ,  鯉渕 滋 ,  橋本 通晰
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995301161
Publication number (International publication number)：1997146275
Application date： Nov. 20, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 保存安定性に優れるネガ型感光性樹脂組成物及びこれを用いたレジスト像の製造法を提供する。【解決手段】 アルカリ水溶液可溶性樹脂、酸発生剤、アミノ樹脂及び溶剤を含み、水分含有率が0.15重量%以下であるネガ型感光性樹脂組成物並びにこのネガ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、乾燥後、露光又は活性放射線照射を行い、加熱し、次いでアルカリ水溶液で現像することを特徴とするレジスト像の製造法。

Claim (excerpt)：

アルカリ水溶液可溶性樹脂、酸発生剤、アミノ樹脂及び溶剤を含み、水分含有率が0.15重量%以下であるネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/38 511 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 568