Pat
J-GLOBAL ID：200903027780915472
バブルアクチユエータ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大菅 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991264091
Publication number (International publication number)：1993106615
Application date： Oct. 11, 1991
Publication date： Apr. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明はマイクロマシンに使用される小型アクチュエータに係り、特に内部に発生する気泡の圧力によりアクチュエータを低電圧で高速駆動し、変換効率の優れたバブルアクチュエータを提供することを目的とする。【構成】駆動回路10から電極6a、6bを介して抵抗発熱体4にパルス信号を供給することにより抵抗発熱体4を加熱し、抵抗発熱体4上の密封容器3内に膜沸騰に基づく蒸気気泡を急激に形成すると共に、密封容器3内に封入される作動液体5で冷却して収縮させ密封容器3の可動部3’を矢印方向へ駆動しマイクロマシンの駆動力とするものであり、低電圧で高速駆動可能な小型アクチュエータを提供するものである。
Claim (excerpt)：
少なくともその一部を可逆的に変形可能に構成した密封容器と、該密封容器に封入された液体と、該液体の一部に接し該液体の一部を加熱する加熱手段とを有し、該加熱手段による加熱作用により前記液体の一部に膜沸騰部位を発生させることにより気泡を発生させ、該気泡の圧力により前記密封容器の一部を突出変位させることを特徴とするバブルアクチュエータ。
IPC (3)：
F15B 21/06
, F03G 7/06
, F16K 31/68
