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J-GLOBAL ID：200903027825375644

プラズマ発生電極及びプラズマ発生装置、並びに排気ガス浄化装置

Inventor： 三木 雅信 ,  堂坂 健児 ,  宮入 由紀夫 ,  藤岡 靖昌 ,  桝田 昌明 ,  佐久間 健 ,  波多野 達彦
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社 ,  本田技研工業株式会社
Agent (1)： 渡邉 一平
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2004008617
Publication number (International publication number)：WO2004114728
Application date： Jun. 18, 2004
Publication date： Dec. 29, 2004
Summary：

本発明のプラズマ発生電極1は、一対の電極5のうちの少なくとも一方の電極5aが、誘電体となる板状のセラミック体2と、セラミック体2の内部に配設された、その膜厚方向に貫通した膜厚方向に垂直な方向の平面で切断した断面の形状が一部に円弧を含む形状の貫通孔4が複数形成された導電膜3とを有するものであり、均一かつ安定なプラズマを低電力で発生させることができる。

Claim (excerpt)：

対向配置された少なくとも一対の電極を備え、これらの間に電圧を印加することによってプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、 前記一対の電極のうちの少なくとも一方が、誘電体となる板状のセラミック体と、前記セラミック体の内部に配設された、その膜厚方向に貫通した前記膜厚方向に垂直な方向の平面で切断した断面の形状が一部に円弧を含む形状の貫通孔が複数形成された導電膜とを有するプラズマ発生電極。

IPC (4)：

B01D 53/56 ,  B01D 53/74 ,  B01J 19/08 ,  F01N 3/08

FI (3)：

B01D53/34 129C ,  B01J19/08 E ,  F01N3/08 C

F-Term (40)：

3G091AA17 ,  3G091AA18 ,  3G091AB01 ,  3G091AB14 ,  3G091BA14 ,  3G091BA15 ,  3G091GA06 ,  3G091GB01X ,  3G091GB02W ,  3G091GB06W ,  3G091GB07W ,  3G091GB10X ,  3G091GB13X ,  3G091GB15X ,  3G091GB17X ,  3G091HA07 ,  4D002AA12 ,  4D002AA40 ,  4D002AC04 ,  4D002AC10 ,  4D002BA05 ,  4D002BA07 ,  4D002BA14 ,  4D002CA07 ,  4G075AA03 ,  4G075AA27 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075BA06 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EA02 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075EE12 ,  4G075FA01 ,  4G075FA12 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04