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J-GLOBAL ID：200903027834926823
液体噴射記録ヘッドの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995135983
Publication number (International publication number)：1996300669
Application date： May. 09, 1995
Publication date： Nov. 19, 1996
Summary：
【要約】【目的】 感光性樹脂製のノズル層の液流路の断面寸法等が設計値からずれるのを防ぐ【構成】 吐出エネルギー発生素子11を有する基板10に感光性樹脂のノズル層20を積層しフォトリソグラフィによって液流路21をパターニングする。その上に感光性樹脂の共通液室層30を積層し、同じくフォトリソグラフィによって共通液室31をパターニングする。共通液室31をパターニングする工程で、液流路21の空気を窒素と置換し、液流路21の雰囲気に酸素を含まない状態で共通液室層30を露光する。
Claim (excerpt)：
吐出エネルギー発生手段を有する基板に第1の感光性樹脂層を積層し、フォトリソグラフィによって前記第1の感光性樹脂層に液流路をパターニングしたうえで第2の感光性樹脂層を積層し、フォトリソグラフィによって前記第2の感光性樹脂層に共通液室をパターニングする工程を有し、該共通液室をパターニングするフォトリソグラフィにおいて、前記液流路の雰囲気に前記第2の感光性樹脂層の硬化を妨げる成分を含まない状態で前記第2の感光性樹脂層を露光することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 B
