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J-GLOBAL ID：200903027852310376

圧電振動角速度計の製造方法

Inventor： 一条 弥栄 ,  渡辺 俊二
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996168061
Publication number (International publication number)：1998019574
Application date： Jun. 27, 1996
Publication date： Jan. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 金属基体または圧電材料基体の振動子では、角速度を精度良く測定することが困難であった。【解決手段】 振動子基体をフォトリソグラフィー及び異方性エッチングにより形成されたシリコン単結晶とし、圧電薄膜を下部電極上に成膜した後、熱処理することにより形成する。

Claim (excerpt)：

振動子基体上に順に下部電極、圧電薄膜、及び上部電極を形成してなる圧電振動角速度計の製造方法において、前記振動子基体が、フォトリソグラフィー及び異方性エッチングにより形成されたシリコン単結晶であり、前記圧電薄膜が、前記下部電極上に成膜した後、熱処理することにより形成された圧電結晶であることを特徴とする圧電振動角速度計の製造方法。

IPC (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (4)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z