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J-GLOBAL ID:200903027860056608

電子素子部材およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三品 岩男 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991275761
Publication number (International publication number):1993114749
Application date: Oct. 23, 1991
Publication date: May. 07, 1993
Summary:
【要約】【目的】太陽電池を構成する金属電極と基板との接合の密着性を高めることを目的とする。【構成】また、酸化物基板と金属電極との接合をTiOx層またはCrOx層を介して行うことにより、酸化物基板と金属電極との密着性を高めた。この場合、基板との接合面におけるのxの値は、TiOxについては、0.5≦x≦2、CrOxについては0.5≦x≦1.5であることが好ましい。なお、基板との接合面以外の位置においてはxの値は任意である。【効果】金属電極層と基板との接合の密着性が高まり、耐久性および信頼性に優れ、しかも積層に起因する光電変換率の低下が極めて少ない素子を得ることができる。
Claim (excerpt):
酸化物に覆われた面を有する基板と、該基板の酸化物に覆われた面上に形成された、Ti、Cr、TiOx、CrOxからなる群より選ばれた少なくとも一の材料を含む中間層と、該中間層上に設けられた金属層と、を有することを特徴とする電子素子部材。
FI (2):
H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 E

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