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J-GLOBAL ID:200903027861074260
直流スパッタ条件下で優れた耐割損性を発揮する光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
富田 和夫 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000176458
Publication number (International publication number):2001355065
Application date: Jun. 13, 2000
Publication date: Dec. 25, 2001
Summary:
【要約】【課題】 高出力直流スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用ターゲット材を提供する。【解決手段】 銅:0.1〜3%、酸化ケイ素:2〜10%、酸化チタン:2〜10%、酸化インジウム:20〜40%、硫化亜鉛:残りからなる組成を有し、前記銅の一部または全部が硫化亜鉛に固溶しており、さらに前記酸化チタンは連続相である酸化ケイ素により結合した複合粒子ととして素地中に分散している組織を有するホットプレス焼結体で構成した直流スパッタ条件下ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット。
Claim (excerpt):
質量%(以下、%は質量%を示す)で、銅:0.1〜3%、酸化ケイ素:2〜10%、酸化チタン:2〜10%、酸化インジウム:20〜40%、硫化亜鉛:残りからなる組成を有するホットプレス焼結体で構成したことを特徴とする、直流スパッタ条件下で優れた耐割損性を発揮する光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット。
IPC (3):
C23C 14/34
, C04B 35/547
, G11B 7/26 531
FI (3):
C23C 14/34 A
, G11B 7/26 531
, C04B 35/00 T
F-Term (21):
4G030AA16
, 4G030AA31
, 4G030AA34
, 4G030AA37
, 4G030AA56
, 4G030BA14
, 4G030BA18
, 4G030CA01
, 4G030GA29
, 4K029BA43
, 4K029BA51
, 4K029BA64
, 4K029BD12
, 4K029CA05
, 4K029DC05
, 4K029DC09
, 4K029DC34
, 5D121AA04
, 5D121EE03
, 5D121EE09
, 5D121EE13
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