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J-GLOBAL ID:200903027897440785

微小バルブ機構の製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高橋 勝利
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001177020
Publication number (International publication number):2002370200
Application date: Jun. 12, 2001
Publication date: Dec. 24, 2002
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 ダイヤフラム膜として、非常に薄く柔軟で取り扱いにくい薄膜を、微小なバルブ機構に組み込み、他の部材と接着して効率良くダイヤフラムを形成する、ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法を提供する。【解決手段】 液体状の樹脂組成物からなるダイヤフラム形成材料を液体表面上に展開させ、これを固化させて形成した薄膜状の部材を、表面の一部に欠損部を有するか、或いは部材を貫通して欠損部を有する、2つの部材の間に挟んで接着することにより、該薄膜状の部材をダイヤフラムと成し、各欠損部をダイヤフラムによって仕切られた空洞と成すことを特徴とする、ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法。
Claim (excerpt):
液体状の樹脂組成物からなるダイヤフラム形成材料を液体表面上に展開させ、これを固化させて形成した薄膜状の部材を、表面の一部に欠損部を有するか、或いは部材を貫通して欠損部を有する、2つの部材の間に挟んで接着することにより、該薄膜状の部材をダイヤフラムと成し、各欠損部をダイヤフラムによって仕切られた空洞と成すことを特徴とする、ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法。
IPC (4):
B81C 3/00 ,  F16K 7/12 ,  F16K 7/17 ,  F16K 31/126
FI (4):
B81C 3/00 ,  F16K 7/12 A ,  F16K 7/17 B ,  F16K 31/126 Z
F-Term (9):
3H056AA07 ,  3H056BB32 ,  3H056BB50 ,  3H056CA08 ,  3H056CB03 ,  3H056CD04 ,  3H056DD04 ,  3H056FF10 ,  3H056GG04

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