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J-GLOBAL ID：200903027909951888

走査型局所電流計測装置および該計測装置を備えた薄膜デバイス製造装置

Inventor： 本多 幸雄 ,  鈴木 寛 ,  山下 武夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002337368
Publication number (International publication number)：2004170281
Application date： Nov. 21, 2002
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：

【課題】探針・試料間の原子間力やトンネル電流を正確に検出し、同一場所の表面形態と局所電流分布を再現性よく計測できる走査型局所電流計測装置を提供する。【解決手段】導電性探針を有する可撓性のカンチレバーと、カンチレバーおよび探針を特定の周波数で加振する手段と、カンチレバーの変位(振動振幅)を一定に制御する手段と、探針と試料の間にバイアス電圧を印加する手段と、カンチレバーの加振周波数と同期した特定の周波数で、該探針の先端が試料表面に接触した瞬間の微少電流を検出する手段と、探針を試料表面に沿って走査する手段を設けることにより試料の表面形態と同一場所の局所電流分布を再現性良く計測するのに好適な走査型局所電流計測装置を得る。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

探針を備えたカンチレバーと、 該カンチレバーを加振する圧電素子と、 加振によるカンチレバーの変位を検出する手段と、 該圧電素子に所望の周波数の交流信号を印加する手段と、 前記変位検出手段により検出された変位に基づき前記カンチレバーの変位が一定となるように前記交流信号を印加する手段を制御する制御器と、 該探針と試料の間にバイアス電圧を印加する電圧源と、 前記探針に流れた電流を検出する手段とを備えたことを特徴とする走査型局所電流計測装置。

IPC (6)：

G01N13/16 ,  G01N13/12 ,  G01R19/00 ,  H01L21/66 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09

FI (7)：

G01N13/16 A ,  G01N13/12 A ,  G01R19/00 C ,  H01L21/66 Q ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 D

F-Term (12)：

2G035AA08 ,  2G035AB04 ,  2G035AC01 ,  2G035AC02 ,  2G035AD00 ,  4M106AA13 ,  4M106BA14 ,  4M106BA20 ,  4M106CA04 ,  4M106CA48 ,  4M106CA70 ,  4M106DJ04