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J-GLOBAL ID：200903027920284354
加速度センサ及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997355281
Publication number (International publication number)：1999183510
Application date： Dec. 24, 1997
Publication date： Jul. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 付加質量をばらつきなく、精度よく設け、感度ばらつきの小さい加速度センサと該加速度センサを量産性よく製造する製造方法を提供する。【解決手段】 一方の主面に電極が形成された第1と第2の圧電基板を、第1の圧電基板の他方の主面と第2の圧電基板の他方の主面とを対向させて接合してなる電気-機械変換子を備えた加速度センサであって、第1と第2の圧電基板のうちの少なくとも一方において、一方の端部を厚くすることにより該端部を付加質量部とした。
Claim (excerpt)：
それぞれ一方の主面に電極が形成された第1と第2の圧電基板を、上記第1の圧電基板の他方の主面と上記第2の圧電基板の他方の主面とを対向させて接合してなる電気-機械変換子を備えた加速度センサであって、上記第1と第2の圧電基板のうちの少なくとも一方において、一方の端部を厚くすることにより該端部を付加質量部としたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01P 15/09
, H01L 41/08 Z
