Pat

J-GLOBAL ID：200903027922352268

繰返しパターンの欠陥検査装置

Inventor： 依田 晴夫 ,  大内 洋三 ,  酒匂 裕
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992325193
Publication number (International publication number)：1993264466
Application date： Apr. 15, 1983
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本来検査すべき繰返しパターン同士のみを検査して、誤り検出をなくす欠陥検査装置を提供することである。【構成】 本発明は、繰返しパターンを含む部分の1つに対応する第1の多値のディジタル信号と、繰返しパターンを含む部分の所定ピッチ前の第2の多値のディジタル信号とを比較する比較手段13と、繰返しパターンの検査開始座標および検査終了座標を記憶して、繰返しパターンの検査開始座標になったとき、比較手段における比較を開始させ、繰返しパターンの検査終了座標になったときに比較手段における比較を終了させる起動制御手段17とを備えて、繰返しパターンの欠陥を検査するものである。

Claim (excerpt)：

被検査物を走査して映像信号を得る撮像手段を備えて、繰返しパターンを含む部分が所定ピッチにて配列された被検査物の外観を検査する繰返しパターンの欠陥検査装置において、上記被検査物を固定し移動させる移動台と、上記撮像手段により得た映像信号を多値のディジタル信号に変換する変換手段と、上記変換手段により変換された第1の多値のディジタル信号と、上記変換手段にて変換された少なくとも上記所定ピッチ前の第2の多値のディジタル信号とを比較する比較手段と、上記繰返しパターンの検査開始座標および検査終了座標を記憶して、上記移動台に固定された上記被検査物が移動して、上記繰返しパターンの検査開始座標になったとき、上記比較手段における比較を開始させ、上記繰返しパターンの検査終了座標になったときに上記比較手段における比較を終了させる起動制御手段とを備え、上記繰返しパターンの欠陥を検査することを特徴とする繰返しパターンの欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭56-162037
  
• 特開昭55-074409