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J-GLOBAL ID：200903027935296995

照明装置

Inventor： 相田 健 ,  師岡 博明
Applicant, Patent owner： ジューキ株式会社
Agent (1)： 加藤 卓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000120508
Publication number (International publication number)：2001304817
Application date： Apr. 21, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 種々の反射特性をもつマークを精度よく検出できるように照明することが可能な照明装置を提供する。【解決手段】 複数の照明光源12により中央部に所定形状の通過穴15aを有する拡散板15を介して基板16上の基板マーク16aが照明される。基板マークは通過穴を通過し垂直に入射する直射光で照明されるとともに、斜めに入射する拡散光でも照明されるので、種々の反射特性をもつ基板マークを効果的に照明でき、マークの認識精度を高めることができる。また、基板マークの反射特性に合わせて複数の光源を選択的に点灯させることができるので、マークの認識精度を更に高めることができる。

Claim (excerpt)：

基板上のマークを照明する照明装置であって、中央部に所定形状の穴を有し、基板上部に配置される第1の拡散板と、複数の照明光源を格子状に配置した光源ユニットと、光源ユニットからの照明光を拡散させる第2の拡散板と、第2の拡散板を通過した照明光を反射させ基板にほぼ垂直に入射させるハーフミラーとを設け、前記第1の拡散板の穴を通過する照明光並びに第1の拡散板による拡散光でマークを照明するとともに、マークからの反射光を前記ハーフミラーを介して受光できるように構成したことを特徴とする照明装置。

IPC (3)：

G01B 11/00 ,  H05K 13/04 ,  H05K 13/08

FI (3)：

G01B 11/00 H ,  H05K 13/04 M ,  H05K 13/08 Q

F-Term (33)：

2F065AA01 ,  2F065AA20 ,  2F065BB01 ,  2F065BB27 ,  2F065CC01 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG07 ,  2F065GG15 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL49 ,  2F065NN02 ,  2F065PP03 ,  2F065PP12 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02 ,  5E313AA02 ,  5E313AA11 ,  5E313CC04 ,  5E313EE02 ,  5E313EE03 ,  5E313EE24 ,  5E313FF32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平1-297534
  
• 特開平1-143904