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J-GLOBAL ID：200903027973628926
画像による外観検査方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 富士弥
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996022244
Publication number (International publication number)：1997218935
Application date： Feb. 08, 1996
Publication date： Aug. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】 照明環境の変動や、検査物体表面の汚れ、ゴミ等の付着により発生する良品サンプル画像の濃度変動に対しても、良品/不良品を高い検出信頼度で判別できる外観検査方法を提供する。【解決手段】 まず、第1の処理101にて、照明系と撮像系、姿勢制御可能な試料台で構成される画像入力系で、撮像条件をかえて検査サンプルの多重画像を取得する。次に、第2の処理102にて、表面反射特性が既知の物体を用い、照明系パラメータや撮像系パラメータを推定し、画像入力系のキャリブレーションを行う。次に、第3の処理103にて、第1の処理101で得られた多重画像を用い、第2の処理102で求めたパラメータ群を元に、反射の光学モデルのパラメータを推定する。次に第4の処理104にて、第3の処理103で求めた光学モデルのパラメータの推定値を元に検査サンプルの良/不良を判定する。
Claim (excerpt)：
異なる撮像条件で撮影した複数枚の画像である多重画像を用いて、検査対象物体の欠陥部、あるいは良/不良を判別する検査方法であって、照明系と撮像系、姿勢制御可能な試料台で構成される画像入力系において、撮像条件を変えて検査対象物体の多重画像を取得する第1の処理段階と、前記画像入力系において、表面反射特性が既知の物体を用いて、照明系と撮像系の幾何学的配置の情報に基づき照明系パラメータおよび撮像系パラメータの一方または双方を推定する第2の処理段階と、前記第1の処理段階で得られた多重画像を用いて、前記第2の処理段階で求めた前記パラメータと前記幾何学的配置の情報をもとに、反射の光学モデルのパラメータを推定する第3の処理段階と、を有することを特徴とする画像による外観検査方法。
IPC (4)：
G06T 1/00
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06T 7/00
G06F 15/62 380
, G01B 11/30 C
, G01N 21/88 Z
, G06F 15/70 460 A
