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J-GLOBAL ID：200903028010900830

元素分析装置

Inventor： 大和田 章 ,  奥本 豊治 ,  南波 秀徳
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998204713
Publication number (International publication number)：2000036281
Application date： Jul. 21, 1998
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】元素分析装置において、測定データの高い信頼性を確保する。【解決手段】元素分析装置において、スプレーチャンバの霧の状態を赤外線を利用したフォトインタラプタなどを用いて試料の噴霧状態を監視する機能をもたせることにより、常に高い信頼性を有するデータのみを測定することができる。

Claim (excerpt)：

ネブライザによって霧化した試料溶液をスプレーチャンバを介して高周波誘導結合プラズマに導き、該試料中に含有される元素の発光分析を行う高周波誘導結合プラズマ発光分析装置と同じく含有される元素の質量分析を行うプラズマイオン源質量分析装置(両者をあわせて以下元素分析装置と表す)において、試料の噴霧状態を監視する機能を有することを特徴とした元素分析装置。

IPC (4)：

H01J 49/04 ,  G01N 21/73 ,  H01J 49/10 ,  G01N 27/62

FI (4)：

H01J 49/04 ,  G01N 21/73 ,  H01J 49/10 ,  G01N 27/62 F

F-Term (18)：

2G043AA01 ,  2G043CA03 ,  2G043DA05 ,  2G043EA08 ,  2G043EA17 ,  2G043GA19 ,  2G043GB01 ,  2G043GB09 ,  2G043LA01 ,  2G043MA16 ,  5C038EE02 ,  5C038EF04 ,  5C038EF33 ,  5C038GG09 ,  5C038GH05 ,  5C038GH09 ,  5C038GH15 ,  5C038GH17