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J-GLOBAL ID：200903028020389564
静電容量式3次元触覚センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994156501
Publication number (International publication number)：1996005472
Application date： Jun. 15, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 3次元領域における外部からの力によって対向する電極間の覆われる面積の変化をX軸方向およびY軸方向に、対向する電極間の距離の変化をZ軸方向にそれぞれ独立して静電容量の変化値として検出する静電容量式3次元触覚センサを提供する。【構成】 枠体18に、共通の基板10の上面に第1の固定電極9としての受信電極13a〜13dおよび送信電極12と、これに対向する第1の移動電極7が一体的にユニット化されて設けられる。これら電極間によって覆われる面積の変化によりX軸方向およびY軸方向の力を検出する。共通の基板10の下面に枠体18と第2の移動電極11を設け、これと対向した第2の枠体19を含む第2の固定電極14を設ける。これら電極間距離の変化によりZ軸方向の力を検出する。このように外部からの3次元領域の力は、電極間の面積または距離の変化を静電容量の変化として検出される。
Claim (excerpt)：
面上の固定電極を設けた固定電極板と面上の移動電極を設けた移動電極板とを対向配置して構成され、前記移動電極板の周囲に外部からの力に対して弾性変形可能な弾性部材を設け、前記固定電極面上を移動電極が移動することに伴う両電極間の静電容量の変化に基づいて外部からの力を検出する静電容量式3次元触覚センサにおいて、X軸方向およびY軸方向の力を測定する第1の固定電極および第1の移動電極と、前記第1の固定電極は同一平面上にX軸方向およびY軸方向にそれぞれ独立する少なくとも一つの受信電極と、前記第1の移動電極を介して受信電極に信号を送る共通の送信電極と、前記第1の固定電極および第1の移動電極を一体的にユニット化する第1の枠体とを有し、前記第1の移動電極はX軸方向およびY軸方向に前記第1の固定電極上を一定の電極間距離を維持しながら移動可能とし、該第1の移動電極によって第1の固定電極の前記受信電極が覆われる面積の増減を静電容量の変化とし検出し、更にZ軸方向の力を測定する第2の固定電極と、第2の移動電極と、前記第2の固定電極を固定配置する第2の枠体とを有し、前記第2の移動電極は前記第1の枠体と共に第2の枠体内に収容されてZ軸方向に移動可能とし、前記第2の移動電極と第2の固定電極とによって対向配置された電極間の距離の変化を静電容量の変化として検出して、外部からの力大きさおよび向きをX軸方向、Y軸方向、Z軸方向の各成分に分解して測定することを特徴とする静電容量式3次元触覚センサ。
IPC (2)：
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