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J-GLOBAL ID：200903028028795308

複数の部材の貼り合わせ方法及び装置

Inventor： 久保田 智之
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 大塚 康徳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997230043
Publication number (International publication number)：1999065666
Application date： Aug. 26, 1997
Publication date： Mar. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】単一の視覚センサにより、複数部材のずれを算出するためには絶対座標系による大規模な測定システムの構築が必要であり、高価な校正治具の製作やアライメントマークの高精度管理が不可欠であった。【解決手段】複数の部材の少なくとも2カ所以上に所定の位置関係を有して形成されたアライメントマークに基づき、それぞれに対応した個々の視覚センサから、角度ずれ、XY方向のずれ量検出し、そのずれ量を補正する粗調整する工程と、複数部材を回転方向に補正して複数のアライメントマークが一致する微調整の工程とで、複数部材を位置合わせすることで前記課題を解決した。

Claim (excerpt)：

複数の部材を加熱しながら所定のサンプリング時間毎に位置合わせし、貼り合わせる方法であって、前記部材の、少なくとも2カ所以上に形成されたアライメントマークを、視覚センサによりサンプリング時間毎に画像データとして検出する検出工程と、前記検出された画像データから前記アライメントマークの位置情報を算出する工程と、前記算出された位置情報から、複数部材間の相対ずれ量を算出する工程と、前記相対ずれ量を補正する粗調整を行う位置制御工程と、前記複数部材を回転方向に微少送りし、複数箇所のアライメントマークの位置関係が、一致するように微調整を行う位置制御工程と、前記一致させるまでの移動量と、最初に求めた前記相対ずれ量を比較する工程と、前記比較の結果から補正係数を算出する工程と、を有することを特徴とする複数の部材の貼り合わせ方法。