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J-GLOBAL ID：200903028035606448

窒化アルミニウム基板の製造方法

Inventor： 松本 文彦 ,  岩田 伸一
Applicant, Patent owner： 株式会社トーキン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994054967
Publication number (International publication number)：1995237972
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 反りが少なく、クラック等の欠陥のない窒化アルミニウム基板の製造方法を供する。【構成】 窒化アルミニウム粉末を含むスラリーを作製するのに、有機質バインダーとしてアクリル系樹脂を使用する。また、界面活性剤として、アセチレンアルコールおよび/またはアセチレングリコールを使用する。

Claim (excerpt)：

窒化アルミニウム粉末と焼結助剤の混合粉末を有機質バインダー、可塑剤および有機溶剤と混合してスラリーを作製し、前記スラリーをシート化し、脱バインダーおよび焼結を行うことを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法において、前記有機質バインダーはアクリル系樹脂であり、該アクリル系樹脂を、40°Cないし60°Cの温度に保持した窒化アルミニウム粉末と焼結助剤の混合粉末に可塑剤を加えて有機溶剤に分散させた混合溶液中で溶解させてスラリーを作製することを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法。

IPC (4)：

C04B 35/622 ,  C04B 35/632 ,  C04B 35/581 ,  C04B 35/638

FI (4)：

C04B 35/00 D ,  C04B 35/00 108 ,  C04B 35/58 104 Z ,  C04B 35/64 301