積層型超音波モータ用素子の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩根正敏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992335586
Publication number (International publication number)：1994165540
Application date： Nov. 20, 1992
Publication date： Jun. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】小型化及び低電圧駆動化が可能な積層型超音波モータ用素子の製造方法を提供すること。【構成】グランド用の全面電極が印刷されたグリーンシートと、2分割電極が印刷されたグリーンシートとを、前記2分割電極が印刷されたグリーンシートが偶数枚おきに0°相と90°相とからなるように積層し、該積層体を焼成して一体化させた後、上記印刷されたグランド用の全面電極と、2分割電極とを利用して各々の層の厚み方向の分極方向が対となる2分割電極間で逆になるように分極し、積層型超音波モータ用素子を製造した。

Claim (excerpt)：

厚み方向の分極方向が左右或いは前後で逆のリング状圧電素子を、交互又は複数枚づつ積層し、該積層体に位相の異なる高周波電圧を印加して首ふり運動を行なわせる構造の積層型超音波モータ用素子の製造方法において、グランド用の全面電極が印刷されたグリーンシートと、2分割電極が印刷されたグリーンシートとを、前記2分割電極が印刷されたグリーンシートが偶数枚おきに0°相と90°相とからなるように積層し、該積層体を焼成して一体化させた後、上記印刷されたグランド用の全面電極と、2分割電極とを利用して各々の層の厚み方向の分極方向が対となる2分割電極間で逆になるように分極し、積層型超音波モータ用素子を製造したことを特徴とする積層型超音波モータ用素子の製造方法。

IPC (2)：

H02N 2/00 , H01L 41/09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-091677
特開平2-079482
特開昭62-139371

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