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J-GLOBAL ID：200903028091833643

液晶ディスプレイ用ガラス基板の洗浄方法および前処理方法ならびに大気圧プラズマ発生装置

Inventor： 合田 晋二 ,  阿部 良行 ,  落合 貞光 ,  伊藤 茂樹
Applicant, Patent owner： エア・ウォーター株式会社
Agent (1)： 西藤 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003296521
Publication number (International publication number)：2004102271
Application date： Aug. 20, 2003
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：

【課題】コストを低減することができる液晶ディスプレイ用ガラス基板の洗浄方法を提供する。【解決手段】対向する高圧電極1aと低圧電極1bとの間に被処理体を配置させ大気圧プラズマによる処理を行う大気圧プラズマ発生装置内に、液晶ディスプレイ用ガラス基板Gを配置し、その装置内で発生した大気圧プラズマにより、上記ガラス基板Gの表面を洗浄する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

対向する電極の間に被処理体を配置させ大気圧プラズマによる処理を行う大気圧プラズマ発生装置内に、液晶ディスプレイ用ガラス基板を配置し、その装置内で発生した大気圧プラズマにより、上記ガラス基板の表面を洗浄することを特徴とする液晶ディスプレイ用ガラス基板の洗浄方法。

IPC (3)：

G02F1/1333 ,  B08B7/00 ,  G02F1/13

FI (3)：

G02F1/1333 500 ,  B08B7/00 ,  G02F1/13 101

F-Term (8)：

2H088FA21 ,  2H088HA01 ,  2H090JB02 ,  2H090JC07 ,  2H090JC19 ,  3B116AA02 ,  3B116AB14 ,  3B116BC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 誘電体バリア放電ランプを用いた表面処理装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-171166   Applicant：ホーヤ・ショット株式会社

Cited by examiner (2)

• ガラス基板の前処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-053544   Applicant：コニカ株式会社
• 金属酸化物、その薄膜及びこれを製造する方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-143206   Applicant：コニカ株式会社