シンチレータパネル、放射線イメージセンサ及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998175840
Publication number (International publication number)：2000009847
Application date： Jun. 23, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】シンチレータの耐湿性を向上させると共に解像度を向上させることである。【解決手段】シンチレータパネル2のFOP10の一方の表面には、入射した放射線を可視光に変換する柱状結晶構造のシンチレータ12が形成されている。FOP10に形成された柱状結晶構造のシンチレータ12の表面は、油溶性染料であるOil Red Bにより染色され、この染色されたシンチレータ12の表面には、第1のポリパラキシリレン膜14が設けられており、更に、この第1のポリパラキシリレン膜14の表面に耐湿性の向上を目的とするAl膜16が形成され、更にAl膜16の剥がれを防止するための第2のポリパラキシリレン膜18が形成されている。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された潮解性を有する柱状構造のシンチレータと、前記柱状構造のシンチレータの少なくとも一部を被覆する有機膜とを備えるシンチレータパネルにおいて、前記シンチレータは、表面を染料で染色したシンチレータであることを特徴とするシンチレータパネル。

IPC (2)：

G01T 1/20 , H01J 31/50

FI (2)：

G01T 1/20 E , H01J 31/50 A

F-Term (13)：

2G088FF02 , 2G088GG10 , 2G088GG14 , 2G088JJ09 , 2G088JJ36 , 2G088JJ37 , 2G088LL15 , 2G088MM04 , 5C037GG05 , 5C037GH04 , 5C037GH05 , 5C037GH18 , 5C037GJ01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

放射線撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-112326 Applicant：キヤノン株式会社
誘電体膜の成膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-273838 Applicant：ソニー株式会社
特開平1-240887

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Cited by examiner (6)

放射線撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-112326 Applicant：キヤノン株式会社
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特開平1-240887

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