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J-GLOBAL ID:200903028123452000

拡散反射光計測用光学系及び反射分光計測装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 岸田 正行 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992063136
Publication number (International publication number):1994018408
Application date: Mar. 19, 1992
Publication date: Jan. 25, 1994
Summary:
【要約】【目的】 被検体からの反射光から、被検体の品質、特性を反映した拡散反射光のみをとり出すことのできる拡散反射光計測用光学系、及びこの光学系によりとり出した拡散反射光から被検体の品質、特性を高い精度で計測することのできる反射分光計測装置を提供すること。【構成】 光源装置からの光から所定方向の直線偏光をつくり被検体に向けて照射し、且つ被検体からの反射光のうちからこの照射した直線偏光と光波の振動方向が異なる方向の直線偏光をとり出してこの光を検出すること。
Claim (excerpt):
光を被検休に照射するための光源装置と、この光源装置からの光から所定方向の直線偏光をつくり被検体に向けて照射し且つ被検体からの反射光のうちから該照射した直線偏光と光波の振動方向が異なる方向の直線偏光をとり出す偏光ビームスプリッタとを設けたことを特微とする拡散反射光計測用光学系。
IPC (4):
G01N 21/27 ,  G01J 3/42 ,  G01J 4/04 ,  G01N 21/21
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 特開昭57-172016
  • 特開昭60-079249
  • 特開昭61-111442
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