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J-GLOBAL ID:200903028159643473

距離測定方法および距離測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 秋田 収喜
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996262904
Publication number (International publication number):1998111107
Application date: Oct. 03, 1996
Publication date: Apr. 28, 1998
Summary:
【要約】【課題】 高精度な距離測定方法の提供。複数反射光による誤差の防止。【解決手段】 光源からの光ビームを測定対象物に照射し、前記測定対象物の表面で反射した反射光を光学部品を介して受光素子の受光面に光点として結像させ、前記受光面の光点位置の変位検出によって測定対象物までの距離を測定する距離測定方法であって、前記光学部品と受光素子による受光手段を複数使用し、前記測定対象物に照射される光ビームの光軸を中心とする同心円上の複数箇所で同時に変位検出を行う。
Claim (excerpt):
光源からの光ビームを測定対象物に照射し、前記測定対象物の表面で反射した反射光を光学部品を介して受光素子の受光面に光点として結像させ、前記受光面の光点位置の変位検出によって測定対象物までの距離を測定する距離測定方法であって、前記光学部品と受光素子による受光手段を複数使用し、前記測定対象物に照射される光ビームの光軸を中心とする同心円上の複数箇所で同時に変位検出を行うことを特徴とする距離測定方法。
IPC (3):
G01B 11/00 ,  G01S 7/48 ,  G01S 17/08
FI (3):
G01B 11/00 E ,  G01S 7/48 A ,  G01S 17/08

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