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J-GLOBAL ID：200903028162054209

透明導電膜付きガラス基板

Inventor： 兵藤 正人 ,  清原 康一郎 ,  市來 聖敬
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 茂見 穰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999062324
Publication number (International publication number)：2000261013
Application date： Mar. 09, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 SnO2 の透明導電膜を膜厚5000Å以上に厚く成膜しても、透明導電膜にヘアクラックが生じないようにする。【解決手段】 表面平滑なアルカリ含有基板ガラス10上に、凹凸を付与するための膜厚150Å以上の結晶性を有する金属酸化物の下地膜12と、SiO2 からなり前記下地膜の凹凸を反映する膜厚のアルカリバリア連続膜14と、適当な不純物をドープしたSnO2 からなり膜厚5000Å以上の透明導電膜16が、その順序で成膜されている構造である。ここで前記透明導電膜は、その付着力がJIS R3255-1997「ガラスを基板とした薄膜の付着性試験」で測定したとき、37mN以上となるようにする。

Claim (excerpt)：

表面に機能素子用の膜を一体的に積層するための透明導電膜付きガラス基板において、表面平滑なアルカリ含有基板ガラス上に、凹凸を付与するための膜厚150Å以上の結晶性を有する金属酸化物の下地膜と、SiO2 からなり前記下地膜の凹凸を反映する膜厚のアルカリバリア連続膜と、不純物をドープしたSnO2 からなり膜厚5000Å以上の透明導電膜とがその順序で成膜され、前記透明導電膜は、その付着力がJIS R3255-1997「ガラスを基板とした薄膜の付着性試験」で規定される37mN以上であることを特徴とする透明導電膜付きガラス基板。

IPC (8)：

H01L 31/04 ,  B32B 9/00 ,  B32B 17/06 ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/08 ,  C23C 16/30 ,  C23C 16/40 ,  H01B 5/14

FI (8)：

H01L 31/04 M ,  B32B 9/00 A ,  B32B 17/06 ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/08 N ,  C23C 16/30 ,  C23C 16/40 ,  H01B 5/14 A

F-Term (86)：

4F100AA17B ,  4F100AA20B ,  4F100AA20C ,  4F100AA21B ,  4F100AA25B ,  4F100AA28D ,  4F100AB11E ,  4F100AG00A ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10D ,  4F100BA10E ,  4F100BA13 ,  4F100DD01B ,  4F100EJ99 ,  4F100GB41 ,  4F100HB21B ,  4F100JA11B ,  4F100JA12E ,  4F100JD01C ,  4F100JG01D ,  4F100JK06D ,  4F100JK14 ,  4F100JK15A ,  4F100JL11D ,  4F100JM02B ,  4F100JM02C ,  4F100JM02E ,  4F100JN01D ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4G059AA01 ,  4G059AC14 ,  4G059EA02 ,  4G059EA03 ,  4G059EA04 ,  4G059EA05 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA45 ,  4K029BA46 ,  4K029BA47 ,  4K029BA49 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BC00 ,  4K029BC01 ,  4K029BC09 ,  4K029BD01 ,  4K029EA01 ,  4K030BA11 ,  4K030BA42 ,  4K030BA44 ,  4K030BA45 ,  4K030BA46 ,  4K030BA47 ,  4K030BB05 ,  4K030BB13 ,  4K030CA06 ,  4K030CA12 ,  4K030JA01 ,  4K030LA01 ,  4K030LA04 ,  4K030LA16 ,  5F051AA05 ,  5F051BA04 ,  5F051BA11 ,  5F051FA02 ,  5F051FA03 ,  5F051FA04 ,  5F051FA19 ,  5F051GA03 ,  5F051GA06 ,  5F051GA16 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC02 ,  5G307FC04 ,  5G307FC05