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J-GLOBAL ID：200903028183715698

カーボン微粒子の製造装置

Inventor： 林 康明 ,  河名 正明 ,  西野 茂弘
Applicant, Patent owner： 関西ティー・エル・オー株式会社
Agent (1)： 西教 圭一郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001272369
Publication number (International publication number)：2003081619
Application date： Sep. 07, 2001
Publication date： Mar. 19, 2003
Summary：

【要約】【課題】 大きなサイズを有するカーボンナノチューブまたはカーボンナノカプセルなどのカーボン微粒子を製造すること。【解決手段】 反応槽2内に、CH4をH2で希釈した原料ガスを供給し、反応槽2の上部にはスロットアンテナ12を配置し、2.45GHzのマイクロ波を供給し、反応槽内にグロー放電プラズマ31を形成する。スロットアンテナ12の下方には、凹所を有する捕集電極18を配置する。捕集電極18には、13.56MHzの高周波電力または直流電力を印加する。製造されたカーボン微粒子は、凹所32内に捕捉される。

Claim (excerpt)：

反応槽と、反応槽内に炭素原子を含む原料ガスを供給する原料ガス供給源と、反応槽内にマイクロ波を供給してグロー放電プラズマを発生するマイクロ波発生源と、反応槽内に設けられ、製造されたカーボン微粒子を捕集する捕集電極とを含むことを特徴とするカーボン微粒子の製造装置。

IPC (3)：

C01B 31/02 101 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/12

FI (3)：

C01B 31/02 101 F ,  B01J 19/08 E ,  B01J 19/12 A

F-Term (17)：

4G046CA01 ,  4G075AA23 ,  4G075AA27 ,  4G075BA01 ,  4G075BC04 ,  4G075CA25 ,  4G075CA26 ,  4G075CA54 ,  4G075CA62 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075FA05 ,  4G075FB02 ,  4G075FB06 ,  4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• カーボンナノチューブの製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-161292   Applicant：キヤノン株式会社
• カーボンカプセルの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-213093   Applicant：学校法人慶應義塾, 日本学術振興会

Cited by examiner (1)

• カーボンナノチューブの製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-161292   Applicant：キヤノン株式会社