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J-GLOBAL ID：200903028201115873

縦型炉用ボート

Inventor： 黒岩 淳 ,  福所 孝
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 国則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992072685
Publication number (International publication number)：1993235156
Application date： Feb. 21, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、熱処理時において、自重によるウエハの撓みを抑えることによりウエハが反らない縦型炉用ボートを提供する。【構成】 複数本の支柱11〜14と、各支柱11〜14に対してほぼ直角になる状態にかつ互いに平行になる状態に当該各支柱11〜14に設けた複数の支持板17とよりなるものである。あるいは支持板17に、ウエハ100を搬送するウエハ搬送装置の搬送用アーム(図示せず)が遊挿可能な遊挿部(図示せず)を形成したものである。または支持板17のウエハ100を載置する側の面に複数の突起(図示せず)を設けたものであるか、あるいは支持板17に複数の孔(図示せず)を設けたものである。

Claim (excerpt)：

複数本の支柱と、前記各支柱に対してほぼ直角になる状態にかつ互いに平行になる状態に、当該各支柱に設けた複数の支持板とよりなることを特徴とする縦型炉用ボート。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/324

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-102225
  
• 特開昭63-219993
  
• 特開昭63-102225