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J-GLOBAL ID：200903028208928500

プラズマ重合薄膜およびその形成方法

Inventor： 小林 秀樹 ,  西海 航
Applicant, Patent owner： 東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994256156
Publication number (International publication number)：1996092372
Application date： Sep. 26, 1994
Publication date： Apr. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 優れた撥水性を有する新規なプラズマ重合薄膜、およびその形成方法を提供する。【構成】 一般式:【化1】で表されるオルガノシラン化合物またはオルガノシロキサン化合物等の一分子中に、少なくとも1個のケイ素原子結合水素原子と少なくとも1個の一般式:CmF(2m+1)-R1-で表されるケイ素原子結合有機基を有する有機ケイ素化合物(式中、R1は二価有機基であり、R2、R3は同種もしくは異種の炭素原子数1〜18の一価炭化水素基であり、aは1、2または3であり、mは4〜12の数である。)のプラズマ重合薄膜、およびその形成方法。

Claim (excerpt)：

一分子中に、少なくとも1個のケイ素原子結合水素原子と少なくとも1個の一般式:CmF(2m+1)-R1-(式中、R1は二価有機基であり、mは4〜12の数である。)で表されるケイ素原子結合有機基を有する有機ケイ素化合物のプラズマ重合薄膜。

IPC (4)：

C08G 77/06 NUG ,  C09D183/08 PMM ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/50