Pat

J-GLOBAL ID：200903028233795337

フォトレジスト組成物

Inventor： ジョージ・ジー・バークレー ,  ワン・ユエ
Applicant, Patent owner： シップレーカンパニー エル エル シー
Agent (1)： 千田 稔 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001583242
Publication number (International publication number)：2003532933
Application date： May. 08, 2001
Publication date： Nov. 05, 2003
Summary：

【要約】本発明は複素脂環式基、好ましくは酸素-または硫黄-含有環を含むポリマーに関する。複素脂環式基は好ましくはポリマー骨格に縮合している。本発明はまた、そのようなポリマーを含むフォトレジストに関する、特には200nm以下のような短波長でのイメージング用のフォトレジストに関する。

Claim (excerpt)：

i)ポリマー骨格に縮合した、1以上の酸素または硫黄の環構成元素を含む複素脂環式基、ii)ポリマー骨格に縮合した炭素脂環式基、およびiii)フォト酸レイビル部位を含むポリマー、および光活性成分を含む、フォトレジスト組成物。

IPC (3)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/10 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/10 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (34)：

2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  4J100AK31Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08P ,  4J100AM02Q ,  4J100AQ01Q ,  4J100AR11R ,  4J100AR31S ,  4J100AR32S ,  4J100BA05S ,  4J100BA11S ,  4J100BB18P ,  4J100BC02P ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38