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J-GLOBAL ID：200903028237103901

導電膜及び低反射導電膜及びその製造方法

Inventor： 森本 剛 ,  平塚 和也 ,  久保田 恵子 ,  竹宮 聡 ,  阿部 啓介
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992024426
Publication number (International publication number)：1993190091
Application date： Jan. 14, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【構成】導電性酸化ルテニウム粉末を分散したゾルを含む塗布液を基体上に塗布、加熱して導電膜を形成する。その上に、Siアルコキシドを含む液を塗布、加熱して低屈折率膜を形成し、2層からなる低反射導電膜を製造する。【効果】PVD法のように真空を要する大掛かりな設備を必要とせず、生産性良く低反射導電膜を製造できる。

Claim (excerpt)：

導電性酸化ルテニウム微粒子が分散したゾルを含む塗布液を基体上に塗布した後加熱して酸化ルテニウムを主成分とする導電膜を形成することを特徴とする導電膜の製造方法。

IPC (2)：

H01J 9/20 ,  H01J 29/88

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開平3-046737
  
• 特公昭43-025211
  
• 特開昭61-024101
  
• 特開平4-147512
  

Cited by examiner (5)

• 特開昭61-024101
  
• 特開平3-046737
  
• 特公昭43-025211
  
• 特公昭43-025211
  
• 特開平4-147512