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J-GLOBAL ID：200903028262480620
一体化複合電極
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993090291
Publication number (International publication number)：1994296595
Application date： Apr. 16, 1993
Publication date： Oct. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 神経細胞の多点同時刺激・記録を長期にわたり行うことができ、応答性の優れた一体化複合電極を提供する。【構成】 硬質ガラスの絶縁基盤3上の全面にITO膜を蒸着し、8×8の格子上の各交点に各電極1の中心部が位置し、各電極の最近接の電極の中心間距離が等しく、しかもリード線2が放射状に伸びた形状にITO膜をエッチングする。ついで、絶縁層4としてネガティブフォトセンシティブポリイミドをスピンコートし、各電極の中心に一辺50μmの正方形の孔5ができるように、絶縁層パターンを露光形成する。さらに、各電極の露出部分(すなわち1辺50μmの正方形の内部)に、膜厚500オングストロームとなるように金6を蒸着する。リード線2の電極1と反対方向の端部近傍の部分の外部回路との接点は、金7およびニッケル8でコートする。
Claim (excerpt)：
絶縁基盤上に、最近接の電極間距離が相等しい複数個の電極を備え、前記電極からリード線を略放射状に配設した配線部と、前記リード線をカバーする絶縁層とを設け、かつ電極面積が3×102 μm2 以上4×104 μm2 以下の範囲であり、電極部の表面抵抗が10Ω/cm2 以下である一体化複合電極。
IPC (4)：
A61B 5/0408
, A61B 5/0492
, A61B 5/0478
, H01B 5/14
A61B 5/04 300 E
, A61B 5/04 300 N
, A61B 5/04 300 J
