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J-GLOBAL ID：200903028303115398

画像処理方法及びその装置

Inventor： 奥田 健太郎
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994165168
Publication number (International publication number)：1996029117
Application date： Jul. 18, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、各画像データの線幅が異なっていもこれら画像データ間に位置ずれを発生せずに位置合わせすること。【構成】画像切り出し部(18)により参照画像データ(1) と検査画像データ(2) の端に掛かるパターンを削除するとともにエッジを有するパターンを切り出し、これら切り出された各画像データの重心位置を重心算出部(19)により算出する。そして、位置ずれ量検出部(20)により各重心位置から各画像データ(1,2) 間の位置ずれ量を検出し、これら位置ずれ量に基づいて位置補正部(21)により各画像データ(1,2) の位置補正を行う。

Claim (excerpt)：

少なくとも2つの画像データにおいてエッジを有するパターンを切り出す第1のステップと、この第1のステップによりパターンの切り出された各画像データの重心位置を算出する第2のステップと、この第2のステップにより算出された各重心位置から前記各画像データ間の位置ずれ量を検出する第3のステップと、を有することを特徴とする画像処理方法。

IPC (6)：

G01B 11/00 ,  G03G 15/36 ,  G06T 7/00 ,  G06T 7/60 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G03G 21/00 382 ,  G06F 15/62 405 C ,  G06F 15/70 350 Z ,  H01L 21/30 502 V