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J-GLOBAL ID：200903028310360438

フォトレジストのストリッピングおよびクリーニング用組成物

Inventor： ケンジ・ホンダ ,  タイシー・モー ,  ドナルド・エフ・ペリー
Applicant, Patent owner： オリン・マイクロエレクトロニツク・ケミカルズ・インコーポレイテツド
Agent (1)： 高木 千嘉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997240788
Publication number (International publication number)：1998097080
Application date： Sep. 05, 1997
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 新規なフォトレジストのストリッピングおよびクリーニング組成物の提供【解決手段】 このストリッピングおよびクリーニング用組成物は、水、少なくとも一つのアミン化合物および、(a)珪酸第4級アンモニウムと(b)分子量が約220〜約5,000である、カテコール核を含むオリゴマーとから選択される少なくとも一つの腐蝕防止剤、そして望むなら極性の有機溶媒からなる。

Claim (excerpt)：

(A) 水、(B) 少なくとも一つのアミン化合物、(C) (a)珪酸第4級アンモニウムと(b)分子量が220〜5,000のカテコール核を含むオリゴマーとからなる群から選択される少なくとも一つの腐蝕防止剤および(D) 望むなら極性の有機溶媒からなることを特徴とするストリッピングおよびクリーニング用組成物。