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J-GLOBAL ID：200903028318114290

面位置検出装置、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法

Inventor： 川口 透
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001139211
Publication number (International publication number)：2002334827
Application date： May. 09, 2001
Publication date： Nov. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】 構成の簡素化を図るとともに、検出精度の悪化を防止することができ、且つ、広範囲の検出領域全面に亘って高い精度で面位置を検出することができる面位置検出装置を提供する。【解決手段】 入射端18aに入射する光束の入射角度に応じて射出端18bから射出される光束が所定の関係となるように分割する光ファイバ18を備え、且つ、投影光学系PLの結像面に対するウェハWの表面WSの位置ずれ量が光束の角度の変化量に変換される受光光学系10bの瞳空間に光ファイバ18の入射端18aを配置する。

Claim (excerpt)：

検出光を被検面に対して斜め方向から照射する照射光学系と、前記被検面を介した前記検出光を受光する受光光学系と、前記受光光学系で受光された光束を光電的に検出する検出器と、該検出器の検出結果に基づいて前記被検面の面位置を検出する検出手段とを有する面位置検出装置において、前記受光光学系の瞳空間に配置されて、入射光束を分割する分割手段を備え、前記分割手段は、前記入射光束の前記分割手段への入射角度に応じて前記分割された光束が所定の関係となるように、前記入射光束を分割することを特徴とする面位置検出装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/02

FI (3)：

G01B 11/00 A ,  G03F 9/02 H ,  H01L 21/30 526 B

F-Term (26)：

2F065AA01 ,  2F065AA31 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065DD14 ,  2F065FF04 ,  2F065GG05 ,  2F065GG24 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL01 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL13 ,  2F065LL59 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11 ,  5F046DC12