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J-GLOBAL ID：200903028332703185

表面検査装置

Inventor： 室岡 利吉
Applicant, Patent owner： ソニー・テクトロニクス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994282909
Publication number (International publication number)：1996122266
Application date： Oct. 21, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】簡単な構成で被検査対象物の表面状態を簡易に検査可能な表面検査装置を提供すること。【構成】本発明は、被検査対象物の表面に光を照射する投光手段と、上記表面からの反射光を検出する検出手段と、該検出手段からの出力により、上記表面の状態を検査する表面検査装置であって、上記投光手段は、上記表面上の検査位置に対して異なる入射角で光を照射する2つ以上の光源10-1、10-2を含み、上記検出手段は、上記光源の1つからの光の反射光に関する明視野領域内で、かつ上記光源の他の1つからの光の反射光に関する半明視野領域内又は暗視野領域内に配置された1つの撮像装置を含むことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

被検査対象物の表面に光を照射する投光手段と、上記表面からの反射光を検出する検出手段とを有し、該検出手段からの出力により、上記表面の状態を検査する表面検査装置において、上記投光手段は、上記表面上の検査位置に対して異なる入射角で光を照射する2つ以上の光源を含み、上記検出手段は、上記光源の1つからの光の反射光に関する明視野領域内で、かつ上記光源の他の1つからの光の反射光に関する半明視野領域内又は暗視野領域内に配置された1つの撮像装置を含むことを特徴とする表面検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00 ,  G11B 5/84

FI (2)：

G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 320 C