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J-GLOBAL ID：200903028342413150
静電チャック
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
亀谷 美明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992354709
Publication number (International publication number)：1994182645
Application date： Dec. 17, 1992
Publication date： Jul. 05, 1994
Summary：
【要約】【目的】 リークトラブルがなく構造の簡単な静電チャックを提供する。【構成】 本発明の静電チャックは、静電チャックのサセプタの上面(載置面)に溝条を形成し、その溝条と冷却媒体源とを冷媒供給管路により連通し、静電チャックシートにそのシートを垂直方向に貫通する複数の孔を穿設し、それらの孔の開口位置を上記溝条に沿ってかつその直上に配置するように構成される。そのためサセプタからのリークトラブルがなく、また均一の圧力で冷却ガスを静電チャックシートの裏面に供給できる。
Claim (excerpt)：
サセプタの載置面に被処理体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けた静電チャックにおいて、上記サセプタの載置面に溝条を形成し、その溝条と冷却媒体源とを冷媒供給管路により連通し、上記静電チャックシートにそのシートを垂直方向に貫通する複数の孔を穿設し、それらの孔の開口位置を上記溝条に沿ってかつその直上に配置したことを特徴とする静電チャック。
IPC (5)：
B23Q 3/15
, H01L 21/302
, H01L 21/68
, H01L 23/40
, H02N 13/00
