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J-GLOBAL ID：200903028342428298

光学的形状測定装置

Inventor： 小川 岳夫 ,  住江 伸吾 ,  和佐 泰宏 ,  山口 証 ,  日下部 裕次 ,  河本 憲二 ,  川淵 義行
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993080405
Publication number (International publication number)：1994294621
Application date： Apr. 07, 1993
Publication date： Oct. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 外乱光の影響を受けることなく,又装置の移動や被測定物の取外し,取付が容易な光学的形状測定装置。【構成】 発光源1の周囲の外乱光を遮断するカバー3と,カバー3により外乱光を遮断された発光源1からの平行な照射光を被測定物11を経由させた後に集光する凸レンズ5と,凸レンズ5の焦点部分に配設され,凸レンズ5により集光された光が通過可能な大きさの開口部7を有する遮蔽板6と,遮蔽板6の開口部7を通過した光を受光するイメージセンサ8と,イメージセンサ8の周囲の外乱光を遮断する遮光容器9と,遮光容器9により外乱光を遮断されたイメージセンサ8によって受光された光の強度分布に基づいて被測定物11の形状測定を行う演算器10とから構成されている。上記構成により,外乱光の影響を受けるおそれがなく又装置の移動や被測定物の取扱などが容易となる。

Claim (excerpt)：

光源からの平行照射光を被測定物を経由させて受光し,上記受光された照射光の上記被測定物によって生じた強度分布に基づいて該被測定物の形状測定を行う光学的形状測定装置において,上記光源からの照射光を,上記被測定物を経由させた後に集光する集光手段と,上記集光手段の焦点付近に配設され,上記集光手段により集光された照射光が通過可能な大きさの開口部を有する絞り手段と,上記絞り手段の開口部を通過した照射光を受光する受光手段と,上記受光手段によって受光された照射光の強度分布に基づいて上記被測定物の形状測定を行う測定手段とを具備してなることを特徴とする光学的形状測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-084705
  
• 特開平2-045886
  
• 特開平3-261803