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J-GLOBAL ID：200903028423942433

オンチップレンズ付カラー固体撮像素子とその製造方法

Inventor： 名取 太知
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 尾川 秀昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998172457
Publication number (International publication number)：2000012814
Application date： Jun. 19, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 オンチップレンズ付カラー固体撮像素子の分光の調整が容易なるようにする。【解決手段】 オンチップレンズ18、18,・・・を曲率、厚さが各画素毎に均一になるように形成し、その表面に薄いカラーフィルタ膜19r、19g、19bを形成し、該カラーフィルタ膜19r、19g、19bの厚さtr 、tg、tb を各色毎に所望の分光特性が得られるように設定された値にする。

Claim (excerpt)：

各画素に対応してその受光素子に集光するオンチップレンズを備えたオンチップレンズ付カラー固体撮像素子において、上記オンチップレンズの曲率、厚さを各画素毎に均一に形成し、上記オンチップレンズの表面に薄いカラーフィルタ膜を形成し、上記カラーフィルタ膜の厚さを各色毎に所望の分光特性が得られるように設定された値にしてなることを特徴とするオンチップレンズ付カラー固体撮像素子。

IPC (3)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  H04N 9/07

FI (3)：

H01L 27/14 D ,  H04N 5/335 V ,  H04N 9/07 D

F-Term (31)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA27 ,  4M118CA32 ,  4M118CA40 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GC08 ,  4M118GC09 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA12 ,  5C024CA31 ,  5C024DA01 ,  5C024EA04 ,  5C024EA08 ,  5C024FA01 ,  5C024GA01 ,  5C024GA51 ,  5C065BB01 ,  5C065BB42 ,  5C065CC01 ,  5C065DD01 ,  5C065EE10 ,  5C065EE11