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J-GLOBAL ID：200903028436430261

顕微鏡および屈折率測定方法

Inventor： 大澤 日佐雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994162380
Publication number (International publication number)：1996029342
Application date： Jul. 14, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】試料表面の屈折率分布のみを独立して測定できる装置を提供すること。【構成】試料台に試料を載置しておき、該試料台中を透過可能な光を、前記試料の上面で全反射するように、試料に照射する構成にする。そして、処理手段は、まず、移動手段を駆動し、探針と試料が接する状態にし、このときのエバネセント波の強度(Is)を求める。次に、エバネセント波の強度が、前記強度(Is)の、1/A(Aは、実数)になるまで移動手段を駆動し、前記探針と前記試料を離し、接近状態からの移動量(Z1)を求める。そして、A=exp(-(4πZ1/λ)・(√n2sin2θ-1))(λは、光の波長、θは、光の入射角)なる式より、屈折率nを求める処理を行う。

Claim (excerpt)：

試料を載置する試料台と、出射した光が前記試料台に載置された試料の上面で全反射するように固定されるエバネセント波検出用光源と、エバネセント波を散乱させる探針を有する走査部材と、該走査部材と前記試料台とを相対的に移動させる移動手段と、前記探針によるエバネセント波の散乱により発生する伝搬光の強度を検出するエバネセント波強度検出手段と、前記移動手段を駆動する処理、および、前記エバネセント波強度検出手段による検出強度を参照して、予め定めた関係式に基づいて、前記試料の屈折率を求める処理を行う処理手段と、求めた屈折率(n)を出力する出力手段とを有し、前記処理手段は、前記探針と前記試料が接するように、前記移動手段を駆動し、このときの前記エバネセント波強度検出手段により検出した強度(Is)を求めておく手段と、前記エバネセント波強度検出手段により検出されるエバネセント波の強度(Im)が、前記強度(Is)の、1/A(Aは、予め定められている実数)になるまで、前記移動手段を駆動して前記探針を前記試料台平面に対して垂直方向に移動させ、移動後の探針の位置と、探針の前記試料との接触位置との距離Z1を求める手段と、A=exp(-(4πZ1/λ)・√(n2sin2θ-1))(λは、エバネセント波検出用光源の出射光の波長、θは、エバネセント波検出用光源の出射光の試料上面への入射角)なる式より、屈折率nを求める演算手段とを備えたことを特徴とする顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 21/41 ,  G01N 21/27 ,  G01N 37/00