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J-GLOBAL ID：200903028480712371

複合酸化物膜の製造方法

Inventor： 福井 俊巳 ,  朝隈 直子 ,  林 紅
Applicant, Patent owner： 株式会社関西新技術研究所
Agent (1)： 間宮 武雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999063295
Publication number (International publication number)：2000256862
Application date： Mar. 10, 1999
Publication date： Sep. 19, 2000
Summary：

【要約】【課題】 高温での加熱処理を行わなくても複合酸化物の薄膜を得ることができる製造方法を提供する。【手段】 La、MnおよびCa、SrもしくはBaの各酸化物の原料成分を含む前駆体塗布液を基板の表面に塗布して成膜した後、基板上の薄膜に対し波長が360nm以下である光を照射して薄膜を結晶化させ、組成式(La1-xMx)MnO3-δ(M:Ca,Sr,Ba、0.09≦x≦0.50)で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物の薄膜を形成する。

Claim (excerpt)：

La、MnおよびCa、SrもしくはBaの各酸化物の原料成分を含む前駆体塗布液を被塗布物の表面に塗布して成膜した後、被塗布物表面に形成された薄膜を結晶化させて、組成式(La1-xMx)MnO3-δ(M:Ca,Sr,Ba、0.09≦x≦0.50)で表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物の薄膜を形成する複合酸化物膜の製造方法において、前記前駆体塗布液を被塗布物の表面に塗布して成膜した後、被塗布物表面に形成された薄膜に対し波長が360nm以下である光を照射して薄膜を結晶化させることを特徴とする複合酸化物膜の製造方法。

IPC (5)：

C23C 18/12 ,  B01J 19/12 ,  B05D 3/06 ,  C01G 45/00 ,  C01B 13/14

FI (5)：

C23C 18/12 ,  B01J 19/12 C ,  B05D 3/06 Z ,  C01G 45/00 ,  C01B 13/14 Z

F-Term (38)：

4D075BB48Z ,  4D075DB31 ,  4D075DC21 ,  4D075EB01 ,  4D075EC01 ,  4D075EC10 ,  4G042DA02 ,  4G042DB15 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DE07 ,  4G042DE09 ,  4G042DE14 ,  4G048AA05 ,  4G048AB01 ,  4G048AC04 ,  4G048AD02 ,  4G048AE05 ,  4G048AE08 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BB02 ,  4G075CA02 ,  4G075CA32 ,  4G075CA33 ,  4G075CA36 ,  4G075CA51 ,  4K022AA13 ,  4K022BA11 ,  4K022BA15 ,  4K022BA27 ,  4K022BA28 ,  4K022BA33 ,  4K022DA08 ,  4K022DB01 ,  4K022DB04 ,  4K022DB07 ,  4K022DB08