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J-GLOBAL ID：200903028496948359
ウェーハの研磨方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小林 英一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992153025
Publication number (International publication number)：1993326468
Application date： May. 21, 1992
Publication date： Dec. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ウェーハの研磨方法を提供する。【構成】 ウェーハ3を接着した硬質プレート4を定盤1上に貼付された研磨布2面上で回転摺動させてウェーハ3を研磨する際に、ウェーハ3の周縁にウェーハの仕上がり厚さよりも薄い厚さとされるリングを装着した状態で研磨することにより、ウェーハの平坦度を改善して面だれの低減を図ることができる。
Claim (excerpt)：
ウェーハを接着した硬質プレートを定盤上に貼付された研磨布面上で回転摺動させてウェーハを研磨する方法において、ウェーハの周縁にウェーハの仕上がり厚さよりも薄い厚さとされるリングを装着した状態で研磨することを特徴とするウェーハの研磨方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 321
, B24B 37/04
