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J-GLOBAL ID：200903028497054475

シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法

Inventor： 岡本 圭史 ,  吉見 雅士
Applicant, Patent owner： 鐘淵化学工業株式会社
Agent (1)： 深見 久郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998349714
Publication number (International publication number)：2000174310
Application date： Dec. 09, 1998
Publication date： Jun. 23, 2000
Summary：

【要約】【課題】 低温プラズマCVD法で形成する結晶質シリコン系薄膜光電変換層の成膜速度を高速化することによって、光電変換装置の生産効率を高めるとともにその性能をも改善する。【解決手段】 シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法は、その光電変換装置に含まれる結晶質光電変換層をプラズマCVD法で堆積する条件として:下地温度が550°C以下であり;プラズマ反応室内の圧力が5Torr以上であり;その反応室内に導入されるシラン系ガスに対する水素ガスの流量が50倍以上であり;光電変換層の堆積終了時のシラン系ガスの流量は、光電変換層の堆積開始時の流量の1.1〜1.5倍まで増大させられ;シラン系ガスの流量の増大は光電変換層の堆積に要する時間の1/2以上の時間の間に漸次増大させられることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

シリコン系薄膜光電変換装置の製造方法であって、前記光電変換装置は基板上に形成された少なくとも1つの光電変換ユニットを含み、前記光電変換ユニットの少なくとも1つはプラズマCVD法によって順次積層された1導電型半導体層と、結晶質シリコン系薄膜光電変換層と、逆導電型半導体層とを含む多結晶型光電変換ユニットであり、前記結晶質光電変換層を前記プラズマCVD法で堆積する条件として、下地温度が550°C以下であり、プラズマ反応室内の圧力が5Torr以上であり、前記反応室内に導入されるガスの主成分としてシラン系ガスと水素ガスを含み、かつ前記シラン系ガスに対する前記水素ガスの流量比が50倍以上であり、前記光電変換層の堆積終了時の前記シラン系ガスの流量は、前記光電変換層の堆積開始時の流量の1.1〜1.5倍まで増大させられ、前記シラン系ガスの流量の増大は前記光電変換層の堆積に要する時間の1/2以上の時間の間に漸次増大させられることを特徴とするシリコン系薄膜光電変換装置の製造方法。

FI (3)：

H01L 31/04 X ,  H01L 31/04 Y ,  H01L 31/04 W

F-Term (6)：

5F051AA03 ,  5F051AA05 ,  5F051CB12 ,  5F051CB29 ,  5F051DA16 ,  5F051DA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 微結晶膜およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-294800   Applicant：株式会社富士電機総合研究所, 川崎重工業株式会社