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J-GLOBAL ID：200903028513023496
オゾン殺菌装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高野 昌俊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996088982
Publication number (International publication number)：1997253181
Application date： Mar. 19, 1996
Publication date： Sep. 30, 1997
Summary：
【要約】【課題】 オゾンセンサの劣化をコスト上昇を伴わずにチェックし、安全性の高い動作を確保することができるようにしたオゾン殺菌装置を提供すること。【解決手段】 第1オゾンセンサ13は高濃度のオゾンに暴露されるが第2オゾンセンサ18は通常高濃度のオゾンに暴露されることがないことを利用し、オゾン殺菌装置1の運転を開始する際に第1信号V1と第2信号V2とのレベル比較を行うことによって第1オゾンセンサ13の特性に不具合が生じたか否かをチェックする。また、運転開始直前の第1信号V1と第2信号V2とのレベル差の絶対値が所定値以上である場合には一定時間オゾン分解運転を実行し、この後、第1信号V1と第2信号V2とのレベル差の絶対値を再度チェックし、オゾン分解運転の前後におけるレベル差の絶対値の縮小が見られない場合にのみ第1オゾンセンサ13の異常と判別する。
Claim (excerpt)：
殺菌ブースと、オゾン発生器と、殺菌時には前記殺菌ブース内の空気に前記オゾン発生器からのオゾンを混入して所定のオゾン濃度の殺菌用環境を前記殺菌ブース内に生じさせると共に殺菌終了後は前記殺菌ブース内の空気のオゾン濃度を所定の低レベル状態に戻すようオゾン分解処理を行うための処理チャンバとを備えたオゾン殺菌装置において、前記殺菌ブース内のオゾン濃度を検出するための第1オゾンセンサを含み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じたレベルの第1信号を出力する第1回路と、前記オゾン殺菌装置におけるオゾン漏れを検出するための第2オゾンセンサを含み該第2オゾンセンサの近傍のオゾン濃度に応じたレベルの第2信号を出力する第2回路と、前記第1及び第2信号に応答し前記オゾン殺菌装置の運転を開始する際に前記第1及び第2信号のレベル差を検出する検出手段と、該検出手段に応答し前記レベル差が所定値以上である場合には警報を出力する警報出力手段とを備えたことを特徴とするオゾン殺菌装置。
IPC (2)：
FI (2)：
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