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J-GLOBAL ID：200903028521748114

溝付研磨パッド

Inventor： 小池 尚生 ,  今内 敏夫
Applicant, Patent owner： 旭化成工業株式会社
Agent (1)： 森 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999159839
Publication number (International publication number)：2000349053
Application date： Jun. 07, 1999
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】CMP法によるウエハ表面の研磨速度をより速くする。【解決手段】研磨パッドとして研磨面に溝を有する発泡シートを使用し、その研磨面部に存在する気泡の平均直径を1μm以上150μm以下とする。研磨パッドの研磨面の表面粗さを、JIS-B0601に規定された表面粗さで0.5μm以上15μm以下とする。

Claim (excerpt)：

少なくとも研磨面部は発泡プラスチックで形成され、研磨面に溝を有するケミカルメカニカル研磨用の研磨パッドにおいて、研磨面の表面粗さがJIS-B0601に規定された表面粗さで0.5μm以上15μm以下であることを特徴とする研磨パッド。

IPC (3)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 621 ,  B24B 37/00

FI (3)：

H01L 21/304 622 F ,  H01L 21/304 621 D ,  B24B 37/00 C

F-Term (7)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA14 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17