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J-GLOBAL ID：200903028538523523

ステージ装置及び露光装置

Inventor： 田中 慶一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 渡部 温 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000283103
Publication number (International publication number)：2002093686
Application date： Sep. 19, 2000
Publication date： Mar. 29, 2002
Summary：

【要約】【課題】 磁場の乱れが少なく、構造が簡単で、制御性を向上できるステージ装置を提供する。【解決手段】 ガイドバー5、8、9には、フレーム構造をしたガイドフレーム10がX方向に摺動可能に嵌合されている。フレーム部10b及び10cには、段付構造をしたステージ7が、Y方向に摺動可能に嵌合されている。貫通孔7aには、X方向に延びるガイドバー15が、X方向に摺動可能に嵌合されている。ガイドバー19には、可動軸17がY方向に摺動可能に嵌合されている。それらの摺動面には、エアパッド41が設けられている。ガイドフレーム10の両側の嵌合部10aと摺動部10dの外側の端面には、リニアモータ30が設けられている。また、X方向に延びるガイドバー15及び可動軸17の外側の端面には、リニアモータ30が設けられている。

Claim (excerpt)：

真空中で荷電粒子線ビームによる露光を行う露光装置内において、ステージをある平面(XY平面)上で移動・位置決めするステージ装置であって;X軸方向及びY軸方向に前記ステージを駆動する複数の電磁力リニアモータを備え、各リニアモータが、固定子としての磁石ユニット、及び、可動子としての電機子コイルを備えるとともに、各リニアモータの可動子が一軸動作を行うことを特徴とするステージ装置。

IPC (7)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68 ,  H02K 9/22 ,  H02K 41/02 ,  H02K 41/03

FI (8)：

G03F 7/20 504 ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H02K 9/22 Z ,  H02K 41/02 C ,  H02K 41/03 A ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 541 L

F-Term (44)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB13 ,  2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  5F031CA02 ,  5F031HA38 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031LA02 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA30 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5F046CC19 ,  5F056AA22 ,  5F056EA14 ,  5H609BB08 ,  5H609BB12 ,  5H609PP01 ,  5H609PP02 ,  5H609PP06 ,  5H609PP07 ,  5H609RR63 ,  5H609RR70 ,  5H609RR71 ,  5H609RR73 ,  5H641BB03 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG06 ,  5H641GG07 ,  5H641HH02 ,  5H641JA06 ,  5H641JB03