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J-GLOBAL ID：200903028590397587
フレームの貼着装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992236940
Publication number (International publication number)：1994083042
Application date： Sep. 04, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ライナーの剥離後にペリクルに異物が検出された場合に簡単な機構で迅速にそのペリクル付きのペリクルフレームをリジェクトする。【構成】 ペリクルフレーム収納部6から搬送アーム7でペリクル付きのペリクルフレームを搬出し、ライナー剥離部9でそのペリクルフレームからライナーを剥離する。その後、ペリクル検査部10でそのペリクルフレームのペリクルの表面に付着した異物を検出し、検査結果判定部11によりレチクルに貼着しないと判定されたペリクルフレームを、ペリクルリジェクト部12においてリジェクトプレートと共に搬出する。
Claim (excerpt)：
一端に防塵用の薄膜が張設され他端の貼着部に保護シートが貼着されたフレームを収納するフレーム用の収納ケースと、マスク基板を収納するマスク用の収納ケースと、前記フレーム用の収納ケースから前記フレームを取り出して保持するフレーム取り出し手段と、前記マスク用の収納ケースから前記マスク基板を取り出すマスク取り出し手段と、前記フレーム取り出し手段に保持された前記フレームから前記保護シートを剥離する剥離手段と、前記保護シートが剥離されたフレームを前記マスク取り出し手段により取り出された前記マスク基板に貼着する貼着手段と、を有し、前記保護シートが剥離された前記フレームを前記マスク基板に貼着する装置において、前記保護シートが剥離された後の前記フレームに張設された前記防塵用の薄膜の表面に付着した異物を検出する異物検査手段と、該異物検査手段による検査結果に基づいて前記保護シートが剥離された後の前記フレームを前記マスク基板に貼着するか否かを判定する判定手段と、該判定手段により前記保護シートが剥離された後の前記フレームを前記マスク基板に貼着しないと判定された際に、前記フレーム取り出し手段から前記フレームを除去するリジェクト手段と、を設けた事を特徴とするフレームの貼着装置。
IPC (2)：
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