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J-GLOBAL ID：200903028607516879

走査型プローブ及び走査型エネルギーが組み合わされた顕微鏡

Inventor： ハンスマ、ポール ケー. ,  ウォルターズ、デロン ,  ヒルナー、パウル エー.
Applicant, Patent owner： ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア
Agent (1)： 中島 淳 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996529485
Publication number (International publication number)：1999503230
Application date： Mar. 20, 1996
Publication date： Mar. 23, 1999
Summary：

【要約】走査型プローブ及び走査型エネルギーの組み合わせ顕微鏡であって、同じ走査システムが走査プローブ画像及び走査エネルギー画像の両方に使用される。試料は走査型プローブ顕微鏡のプローブ(14)及び走査型エネルギー顕微鏡の対物レンズ(12)の間又は下のどちらかの水平な平面に沿って実質的に平行移動される。プローブ(14)は形状的又は他の情報を収集する。対物レンズ(12)はエネルギーの固定されたビームを試料上の小さな焦点(16)に集束し、次に同焦点からエネルギーを収集して検出器(18)に転送する。プローブ(14)又は試料支持具(10)に連結された垂直平行移動装置(22)はこれらを近くに維持するために必要な垂直移動を提供する。2つの顕微鏡により生成された画像は互いに実質的に直接的に位置合わせされる。本発明は、試料を平行移動する原子力及び共焦レーザ走査型組み合わせ顕微鏡によっても例示されている。

Claim (excerpt)：

走査型プローブ及び走査型エネルギー組み合わせ顕微鏡であって、 走査されるべき表面を有する試料を支持するための支持体と、 前記試料の表面に接触若しくは非常に近接するように配置されるプローブと、 エネルギーを前記試料で焦点に集束して前記焦点から反射若しくは透過されたエネルギーを検出するための手段と、 前記プローブと前記焦点とを位置合わせするための手段と、 前記プローブ及び前記集束手段に関して水平な平面に実質的に沿って前記試料を平行移動し、実質的に位置合わせされた走査型プローブ顕微鏡画像及び走査型エネルギー顕微鏡画像を生成するための手段と、 を含む、走査型プローブ及び走査型エネルギー組み合わせ顕微鏡。

IPC (5)：

G01N 37/00 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/64 ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/28

FI (5)：

G01N 37/00 F ,  G01N 21/27 E ,  G01N 21/64 E ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/28 X