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J-GLOBAL ID：200903028619562361

加圧塗布方法及び装置

Inventor： 大村 昌良
Applicant, Patent owner： ヤマハ株式会社
Agent (1)： 伊沢 敏昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992325948
Publication number (International publication number)：1994151296
Application date： Nov. 11, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【目的】 微細な配線パターンを有するウエハ上面にボイドなく平坦に流動性絶縁材を塗布することができる加圧塗布方法及び装置を提供する。【構成】 ウエハホルダ10で被処理ウエハ12を保持した状態において、SOG(スピン・オン・ガラス)等の液状ガラス16Aを吐出ノズル14のスリット状吐出口14aから加圧しつつ吐出させ且つ矢印S方向に吐出ノズル14を移動させることによりウエハ表面に液状ガラス16Aの塗布膜16を形成する。吐出口14aをピンホール状とし、ウエハ12を回転させるようにしてもよい。ガラスの流量や吐出圧力、吐出口-ウエハ間の間隔等を検出して吐出ノズル14の移動及び加圧状態を制御したり、塗布中又は塗布後に塗布膜に超音波振動を与えたりすることで一層良好な塗布膜が得られる。

Claim (excerpt)：

被処理ウエハの表面に吐出ノズルから流動性絶縁材を加圧供給しつつ該吐出ノズルを前記表面に沿って移動させることにより前記表面に前記流動性絶縁材を塗布することを特徴とする加圧塗布方法。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/26 ,  G03F 7/16 501