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J-GLOBAL ID：200903028627510788
微小光透過部を有するカンチレバー型プローブとその作製方法、および該プローブにより形成されたマルチプローブおよび表面観察装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998132764
Publication number (International publication number)：1999311626
Application date： Apr. 27, 1998
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】本発明は、集積化・小型化が可能で分解能が良好な微小光透過部を有し、短時間で、大きさにばらつきがなく、歩留まりの良好な微小光透過部を形成することができるカンチレバー型プローブとその作製方法、および該プローブにより形成されたマルチプローブおよび表面観察装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明のカンチレバー型プローブは、シリコンよりなる薄膜カンチレバーと、該薄膜カンチレバーの一端を固定支持する支持部材とを備え、該薄膜カンチレバーの先端近傍に二酸化シリコンよりなる微小光透過部が形成されていることを特徴とするものであり、また、その作製方法は、シリコン層を有する基板を用いてカンチレバー型プローブを作製する方法であって、前記シリコン層の一部を酸化することによって、微小光透過部を形成する工程と、前記シリコン層をレバー形状に加工する工程と、前記シリコン層を有する基板のハンドルウエハ部の一部を裏面からエッチングする工程とを少なくとも有することを特徴とするものである。
Claim (excerpt)：
シリコンよりなる薄膜カンチレバーと、該薄膜カンチレバーの一端を固定支持する支持部材とを備え、該薄膜カンチレバーの先端近傍に二酸化シリコンよりなる微小光透過部が形成されていることを特徴とするカンチレバー型プローブ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 E
, G01B 11/30 Z
